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SQM-160 薄膜沉積監(jiān)控器

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  • 概述
  • 規(guī)格
  • 零件號(hào)
  • 附件
  • 耗材
  • 下載

功能

  • 兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)測量通道,另外四個(gè)可選
  • 模擬輸出便于記錄速率/厚度
  • 高分辨率選件:0.03 Hz,10 讀數(shù)/秒
  • RS-232 標(biāo)準(zhǔn)接口,可選擇連接 USB 或以太網(wǎng)

規(guī)格

類型 SQM-160 Standard Resolution SQM-160 High Resolution
QCM 傳感器輸入 Standard: 2; optional: 4 Standard: 2; optional: 4
測量頻率范圍 Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
頻率分辨率 (1) ± 0.30 Hz ± 0.03 Hz
厚度和速率分辨率/測量 (2) ± 0.37 ? ± 0.037 ?
測量周期 0.10 to 2.0 s (adjustable) 0.10 to 2.0 s (adjustable)
測量過濾器 1 to 20 readings 1 to 20 readings
存儲(chǔ)薄膜 99 99
模擬輸出 Two 0 to 5 VDC, rate & thickness Two 0 to 5 VDC, rate & thickness
數(shù)字輸入/輸出 Four inputs, four relay outputs Four inputs, four relay outputs
通信接口

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

功率 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 合規(guī)性

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

殼體/安裝

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

重量 2.7 Kg (6 lbs) 2.7 Kg (6 lbs)
Windows 軟件(集成)

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

(1) 0.10 秒測量間隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基礎(chǔ)頻率 = 6 赫茲,0.10 秒測量間隔

附件

名稱 說明
前裝式單傳感器 前裝式單傳感器
前裝式雙傳感器 前裝式雙傳感器
炫酷抽屜單傳感器 炫酷抽屜單傳感器
炫酷抽屜雙傳感器 炫酷抽屜雙傳感器
薄型雙傳感器 薄型雙傳感器
UHV 可烘烤傳感器 UHV 可烘烤傳感器
濺射傳感器 濺射傳感器
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
零件號(hào) 明細(xì)
782-900-008 用于一臺(tái) SQM-160 或 CI-100 儀器的 19 in. 機(jī)架安裝套件
782-900-014 用于兩臺(tái) SQM-160 或 CI-100 儀器的 19 in. 機(jī)架安裝套件
782-502-096-G1 USB 擴(kuò)展卡
782-502-097-G1 以太網(wǎng)擴(kuò)展卡
Oscillator kits (包括振蕩器和電纜)
783-500-109-10 3 米(10 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 3 米(10 英尺)BNC 電纜
783-500-109-25 7.6 米(25 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 7.6 米(25 英尺)BNC 電纜
783-500-109-50 15.2 米(50 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 15.2 米(50 英尺)BNC 電纜
783-500-109-75 22.8 米(75 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 22.8 米(75 英尺)BNC 電纜
Oscillator Only (未隨附電纜)
783-500-013 僅 OSC-100 振蕩器(無電纜)
Cables
782-902-011 15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜,公型/母型
782-902-012-10 3 米(10 英尺)BNC 電纜,公型/公型
782-902-012-25 7.6 米(25 英尺)BNC 電纜,公型/公型
782-902-012-50 15.2 米(50 英尺)BNC 電纜,公型/公型
782-902-012-75 22.8 米(75 英尺)BNC 電纜,公型/公型

耗材

名稱 說明
石英監(jiān)控器晶體 石英監(jiān)控器晶體

手冊

  • SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|

手冊

  • SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
  • SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual (Chinese) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
  • SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual (Japanese) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|

目錄

  • Thin Film Catalog (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
  • 薄膜目錄 |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|

其他文件

  • SQM-160 Comm Software V1.14 (Windows) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
  • SQM-160 V2 Software v2.9.0 (Windows) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
  • USB Installer v1.8.0 |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
  • SQM-160 LabVIEW™ example |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|


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