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EMS1050低溫灰化儀

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EMS1050 低溫灰化儀

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

應(yīng)用領(lǐng)域:

l  生物芯片領(lǐng)域

l  科研材料、光學(xué)材料研究

l  電子半導(dǎo)體領(lǐng)域

l  高分子材料研究

l  電化學(xué)、零部件處理

l  有機(jī)材料的灰化、刻蝕

 

 

 

儀器性能:

l  自動調(diào)頻高頻發(fā)生器

l  內(nèi)置旋轉(zhuǎn)真空泵

l  此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體,氧去除有機(jī)物質(zhì)(碳?xì)浠衔铮?,氬對樣品表面進(jìn)行刻蝕

l  低溫等離子灰化、刻蝕、清洗 (0-150 watts RF)

l  真空監(jiān)測.

l  雙重氣流針閥控制

l  精確時(shí)間定時(shí)

l  微處理器程序設(shè)置

l  LCD狀態(tài)數(shù)字顯示

l  腔室為圓柱形,樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng),樣本操作方便

l  聚碳酸脂安全防護(hù)  

 

技術(shù)參數(shù):

體積

450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)

工作腔室

派熱克斯玻璃 160mm(L)x110mm(Dia.)

(硼硅酸鹽玻璃為標(biāo)準(zhǔn)配置)

重量

25Kg

等離子體輸出

150w,13.56 MHz

 

 

真空度

>ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.

時(shí)間控制

長可設(shè)置99小時(shí)59分鐘

雙重氣流控制

雙重針閥氣流控制,可選1種或2種氣體(校準(zhǔn) 5-100cm3/min air at A.T.P)

電源

230 V 50Hz (3 amp Max)

 

訂購信息:

貨號

產(chǎn)品名稱

規(guī)格

93000

EMS 1050 低溫灰化儀

91005-F

Rotary Vacuum Pump (Fomblin)

 


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