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S-3400N掃描電子顯微鏡

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相關(guān)參數(shù): 項目 描述 SE分辨率 3.0nm (30kV),高真空模式 / 10nm (3kV),高真空模式 BSE分辨率 4.0nm (30kV),低真空模式 放大…

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相關(guān)參數(shù):


項目 描述
SE分辨率 3.0nm (30kV),高真空模式  / 10nm (3kV), 高真空模式
BSE分辨率 4.0nm (30kV),低真空模式
放大倍率 x5 ~ x300,000
加速電壓 0.3 ~ 30 kV
低真空范圍 6 ~ 270 Pa
大樣品尺寸 直徑200mm
樣品臺 I型                                     II型
X 0 ~ 80mm                          0 ~ 100mm
0 ~ 40mm                          0 ~ 50mm
Z 5 ~ 35mm                          5 ~ 65mm
R 360o                                  360o
T -20o~ +90o                        -20o ~ +90o
T -20o~ +90o                        -20o ~ +90o
大樣品高度 35mm (WD=10mm)           80mm (WD=10mm)
驅(qū)動類型 手動                                  五軸馬達(dá)驅(qū)動
燈絲 預(yù)對中鎢燈絲
物鏡光欄 可移動式4孔物鏡光欄
槍偏壓  固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏
檢測器 二次電子檢測器 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器
分析位置 WD=10mm, TOA=35o
控制 鼠標(biāo)、鍵盤,手動旋鈕
自動調(diào)校 自動燈絲飽和、自動4偏壓、自動槍對中、自動束流設(shè)定、自動合軸、自動聚焦  消像散、自動亮度對比度 


詳細(xì)說明


1. S-3400N具有強(qiáng)大的自動功能,包括自動燈絲飽和、4偏壓、自動槍對中、自動束流設(shè)定、
   自動合軸自動聚焦和消像散、自動亮度對比度等。
2. 在3kV低加速電壓時保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺,傾斜角度可達(dá)-20度~+90度,樣品可達(dá)80mm。
5. 分析樣品倉可以同時安裝EDX , WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵,潔凈、高效


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