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Veeco - 全自動(dòng)原子層沉積(ALD)系統(tǒng)

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  • 公司名稱 香港電子器材有限公司
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  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2021/3/2 19:59:32
  • 訪問次數(shù) 176

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美國 Veeco
全自動(dòng)原子層沉積(ALD)系統(tǒng)
Veeco(之前稱之為Cambridge Nanotech)已經(jīng)有15年以上的ALD研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)
2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大學(xué)，05年搬到Boston并生產(chǎn)出Thermal ALD - Savannah，之后生產(chǎn)出Plasma ALD – Fuji、批量生產(chǎn)ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購，并更新了Batch HVM ALD – Firebird。至今為止，Veeco在ALD設(shè)備已有15年多的經(jīng)驗(yàn)，已安裝五百多臺(tái)ALD設(shè)備。

　

　

　

　

　


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