產(chǎn)品介紹：Regulus8100是日立冷場發(fā)射掃描電鏡的全新系列，Regulus8100保留了SU8010易維護、易操作等優(yōu)點，進一步提高性能，1kV減速模式下分辨率達到了0.8nm，15kV達

主要特點：

1. 配備加速電壓減速功能，的低加速電壓成像能力，1kV分辨率可             達0.8nm
2. 日立E×B技術(shù)，無需噴鍍，可直接觀測不導電樣品
3. 配備電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能
4. SE與BSE任意比例搭配功能

應用領(lǐng)域：

1、 納米材料；

2、 半導體器件；

3、 高分子材料；

4、 生物醫(yī)學；

5、 新能源。