產(chǎn)品介紹：等離子體樣品清洗設(shè)備EvactionE50主要用于場發(fā)射掃描電鏡樣品和樣品室內(nèi)碳氫化合物、有機物和表面碳污染的清洗。EvactionE50可以安裝在電鏡交換倉或樣品室內(nèi)，利用等離子體進行

主要特點：

 清洗效率高（射頻功率50W）

 等離子體和紫外線雙重清洗

 高真空模式下運行，真空范圍大

 無損清洗

 無需特殊氣源

 兼容SEM、FIB等設(shè)備