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OTF-1500X-III-4CV 三溫區(qū)1500°C PECVD系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng) 南京淳寅嘉生物科技有限公司
品牌
型號(hào) OTF-1500X-III-4CV
所在地 南京市
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
更新時(shí)間 2021/3/22 9:35:11
訪問(wèn)次數(shù) 348

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴(lài)度；傳統(tǒng)的塑膠模具開(kāi)模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開(kāi)模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴(lài)。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

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三溫區(qū)1500°C PECVD系統(tǒng)是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng)，它是由500W的射頻電源，1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)對(duì)于生長(zhǎng)納米線(xiàn)、石墨烯或SiC薄膜是一個(gè)新的實(shí)驗(yàn)幫手。

詳細(xì)信息在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

三溫區(qū)開(kāi)啟式1500°C管式爐	工作溫度1500℃連續(xù)使用溫度1400℃ 個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)來(lái)控制，都可設(shè)置30段升降溫程序每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為200mm總溫區(qū)長(zhǎng)度為600mm爐管為高純剛玉管爐管尺寸∶（標(biāo)配）60ODx53IDx1500mmL爐管尺寸∶（選配）800O.Dx73IDx1500mmL輸入電源∶ 208-240VAC，單相功率∶ 6.6KW 配有一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭，法蘭上帶有石英觀察窗口內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。
射頻電源	輸出功率∶5-500W±1% 射頻頻率∶13.56 MHz ±0.005%. 反射功率∶ 200W 匹配∶自動(dòng) 射頻接口∶50 Ω，N-type 噪音∶<50 dB. 冷卻∶風(fēng)冷電源∶AC 208-.240V;5060Hz
防腐型真空計(jì)	輸入電源 24V，1A DC（配有一電壓轉(zhuǎn)換器）測(cè)量范圍 3.8x10-5 1125 Torr. 數(shù)據(jù)顯示數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為tor接頭 1/8"NPT 接頭產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm（長(zhǎng)寬高）
真空系統(tǒng)	采用TRP-12的雙旋真空泵，極限真空10E.3 Torr KFD25快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr
質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)	四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)（精度15%）∶數(shù)字顯示，自動(dòng)控制． MFC 1范圍∶0~100 cm MFC 2和3∶ 0~200 sccm MFC 4范圍∶0~500 scm一個(gè)混氣罐，底部裝有泄廢液口. 4個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動(dòng)控制4種氣體進(jìn)氣口∶4個(gè)14NPS.出氣口∶4個(gè) 14NPs. 采用PLC控制流量計(jì)，通過(guò)觸摸屏進(jìn)行控制
溫控系統(tǒng)	三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)控制采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序帶有超溫和斷偶保護(hù)控溫精度∶ +/- 1 °℃控溫儀表操作視頻可選;此款設(shè)備可以安裝控制模塊，將溫度設(shè)置和溫度曲線(xiàn)導(dǎo)入到電腦
外形尺寸	爐體∶ 550x380x520 mm爐體下端移動(dòng)柜∶ 1800×600×600mm凈重∶ 220Lbs.運(yùn)輸重量∶ 1200lbs
質(zhì)保期	一年質(zhì)保，終生維護(hù)
質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證所有電器元件（>24V）都通過(guò)UL /MET/CSA認(rèn)證若客戶(hù)出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證