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LFT1200C-II 200D50 LFT系列雙溫區(qū)真空滑軌管式爐 (含預(yù)熱爐)

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LFT系列雙溫區(qū)真空滑軌管式爐 (含預(yù)熱爐)設(shè)備描述
雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由預(yù)熱爐、雙溫區(qū)滑軌爐、 2部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動(dòng)并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質(zhì)子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實(shí)現(xiàn)對(duì)管式爐快速抽真空。CVD(化學(xué)氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長(zhǎng)、沉積,是一款實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備。

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LFT系列雙溫區(qū)真空滑軌管式爐 (含預(yù)熱爐)

技術(shù)參數(shù)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

LFT系列雙溫區(qū)真空滑軌管式爐 (含預(yù)熱爐)LFT1200C-II 200D50

爐體結(jié)構(gòu)

該設(shè)備采用雙層殼體并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使其爐體表面溫度都小于55℃

·           爐底安裝一對(duì)滑軌,可手動(dòng)滑動(dòng),以便滿足特殊工藝的快速升降溫的要求。

爐管尺寸

Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。)

功率

5kW

輸入電壓

220VAC 單相 50/60Hz

加熱元件

Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金)

 溫度

 溫度:1200℃ 

額定溫度:1100℃

升溫速率

 ≦10℃/min(推薦)

加熱區(qū)長(zhǎng)度度

·         兩個(gè)加熱區(qū)的長(zhǎng)度都是200mm

·         分別由獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制

恒溫區(qū)長(zhǎng)

·         100+100mm(±1℃)

·         可獲得較長(zhǎng)恒溫區(qū)間

控溫精度

·          ±1℃

快速連接法蘭

·         Φ50快結(jié)式不銹鋼真空法蘭

·         打開(kāi)法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便
另配備有可調(diào)節(jié)高度的法蘭支架

 

 

預(yù)熱爐

功率

·         1kw

加熱區(qū)

·         100mm

 溫度

·         1200

工作溫度

·         200-800℃(可根據(jù)實(shí)際工藝需求調(diào)整)

合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司

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