自動橢圓偏振測厚儀；光源：He-Ne激光器 632.8nm；入射角范圍：65°；測量膜厚厚度：1-10,000nm
自動橢圓偏振測厚儀；光源：He-Ne激光器 632.8nm；入射角范圍：65°；測量膜厚厚度：1-10,000nm；測量精度：0.1nm；樣品尺寸：1-160mm；
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