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LODAS 晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

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公司名稱 北京歐屹科技有限公司
品牌
型號(hào) LODAS
所在地 北京市
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2022/3/4 16:26:32
訪問次數(shù) 1011

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴。

產(chǎn)品簡介

我也要發(fā)布產(chǎn)品信息

可一次性檢查第三代半導(dǎo)體 SIC 等材料表面，背面和內(nèi)部的缺陷，可探測(cè)最小缺陷為100 納米，主要用于半導(dǎo)體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內(nèi)部、背面的缺陷檢查。

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列真公司在半導(dǎo)體光罩檢測(cè)設(shè)備上積累了獨(dú)自技術(shù)，主產(chǎn)品 LODAS ™系列具有日本的激光檢測(cè)技術(shù)，可同時(shí)探測(cè)收集激光的反射光，透射光以及共聚焦，可一次性檢查第三代半導(dǎo)體 SIC 等材料表面，背面和內(nèi)部的缺陷，可探測(cè)最小缺陷為100 納米，主要用于半導(dǎo)體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內(nèi)部、背面的缺陷檢查。將此項(xiàng)技術(shù)運(yùn)用于第三代半導(dǎo)體材料的缺陷檢查，將提升量產(chǎn)成品率將具有重要意義。