2 原理特征
2.1 技術(shù)原理
通過高頻振蕩的線圈,使通入的氬氣電離, 當(dāng)電子的密度達(dá)到一定量時(shí),立即產(chǎn)生等離子體
火焰,火焰中心的溫度可達(dá)10000K.將液態(tài)樣品通過進(jìn)樣系統(tǒng)引入ICP 火焰,樣品中所含有的元
素將被激發(fā),發(fā)出特定的光譜線,將光譜線引入光譜室,經(jīng)光柵分光,將不同元素的光譜分開,通過
光譜線強(qiáng)度的變化確定樣品中的元素含量. ICP 采用27.12MHz 的高頻發(fā)生器,配合帕邢－龍格
一維高光通量分光系統(tǒng),采用 15 塊CCD 的檢測器及165-770nm 的*光譜響應(yīng)范圍,完成大
約70 幾種元素的快速分析.
2.2 儀器特色。
? 測定分析譜線在 190nm 以下的元素時(shí)，不需要光路系統(tǒng)預(yù)吹掃，開機(jī)即可檢測。具有專
利的充氬氣密閉循環(huán)光路系統(tǒng)；可以隨時(shí)測定S180nm, P 177nm，Al167nm 。
? 采用的分光系統(tǒng)與15 塊CCD 檢測器相結(jié)合，采用一維分光系統(tǒng)，所有分析譜線都采
用一級(jí)譜線，能量強(qiáng)，另外光路系統(tǒng)鏡面少且不含透鏡，光通量大，檢測靈敏度高。開機(jī)
穩(wěn)定時(shí)間短，開機(jī)就可點(diǎn)火，操作簡單方便，操作成本低；
? 4 秒可以實(shí)現(xiàn)全譜分析。采用多個(gè) CCD 同時(shí)進(jìn)行檢測， 每個(gè) CCD 分別進(jìn)行*化設(shè)計(jì)
且各自并聯(lián)讀出，分析速度快、無飽和現(xiàn)象；
? 線性動(dòng)態(tài)范圍寬，可以達(dá)到109 通過計(jì)算機(jī)自動(dòng)進(jìn)行譜線切換自動(dòng)擬合標(biāo)準(zhǔn)工作曲線；
? 運(yùn)行操作成本低，分析速度zui快，檢測器不需低溫致冷和氬氣氣體吹掃，光路系統(tǒng)密閉充
氬測定 190nm 以下的元素譜線不需氣體吹掃，氬氣消耗比同類產(chǎn)品少一倍；儀器穩(wěn)定性
好，儀器維修維護(hù)成本少。
? 操作zui簡單，譜線選擇靈活，自動(dòng)化程度好，檢測器不需低溫致冷，開機(jī)即可點(diǎn)火做樣；
遠(yuǎn)紫外譜線分析不需氣體吹掃光路，不管分析190nm 以上還是190nm 以下的譜線，都可
隨時(shí)分析。所有氣流都采用質(zhì)量流量計(jì)計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制，全部分析參數(shù)包括炬管位置都是
計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制。
ICP 技術(shù)方案
? 穩(wěn)定性好, 光路系統(tǒng)和檢測器恒溫在同一溫度，光路系統(tǒng)全部密封充氬自循環(huán)，光學(xué)原件
不受環(huán)境影響；光路系統(tǒng)采用光學(xué)原件zui少，減少了故障概率。
? 固體檢測器不必致冷到零下，可以直接點(diǎn)火做樣，也不必對檢測器進(jìn)行氣體吹掃，光學(xué)室
和檢測器恒定在相同溫度15℃，儀器的穩(wěn)定性好、使用壽命長，采用一級(jí)譜分析且光路系
統(tǒng)光學(xué)鏡面少，無透鏡，譜線強(qiáng)度高，檢測器噪聲可以忽略，不必通過降溫來降低檢測器
噪聲。
? 分析軟件功能強(qiáng)，除了定性、半定量、定量分析功能外，還可以方便地進(jìn)行未分析元素的
事后補(bǔ)加和標(biāo)準(zhǔn)曲線的修正而不必再次做樣，對沒有標(biāo)準(zhǔn)樣品的待分析樣品可以采用標(biāo)準(zhǔn)
加入法進(jìn)行分析，可以實(shí)現(xiàn)譜線自動(dòng)切換等。
3 技術(shù)指標(biāo)
3.1 技術(shù)參數(shù)
本儀器為帶有 ICP 激發(fā)源和半導(dǎo)體固態(tài)檢測器的全自動(dòng)發(fā)射光譜同時(shí)檢測的全譜直讀發(fā)射光
譜儀，用于對液體樣品中各種元素的定性、半定量和定量分析。
SPI 接口技術(shù)可以分析金屬、高固態(tài)含量樣品、有機(jī)樣品或懸浮液中較高含量和主量元
素，線性范圍更寬、準(zhǔn)確度和精確度更好。
優(yōu)化的薄層、低流速氬氣吹掃確保外光路沒有氧氣減少對UV 譜線的吸收，防止入射光學(xué)部件
的污染，確保165 －190nm 譜線范圍發(fā)射譜線的優(yōu)異的穩(wěn)定性和的靈敏度。
儀器由以下主要部分組成
? Polychromator 分光系統(tǒng)
? Detectors 15 個(gè)CCD 檢測器
? UV-System 紫外光學(xué)密封充氬循環(huán)系統(tǒng)
? Generator RF 發(fā)生器
? Sample introduction system and torch unit 進(jìn)樣系統(tǒng)及炬管組件
? Spectrometer control 光譜儀控制部分
? Data processing system 數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)
? Software 軟件系統(tǒng)
各部分技術(shù)描述
Polychromator 分光系統(tǒng)
? 恒溫在 +15?C ? 0.5?C
? 帕邢－龍格羅蘭圓設(shè)計(jì)
? 焦距 750mm
ICP 技術(shù)方案
? 全息凹面原光柵
? 光柵材料
? 氟化鎂光學(xué)部件
? 全部是1 級(jí)波長覆蓋
? 波長范圍165 －770nm
? 入射狹縫 15 微米
Detector 檢測器
? 根據(jù)所在波長精心選擇并進(jìn)行*化設(shè)計(jì)的 15 個(gè)線性CCD 連續(xù)排列在羅蘭圓上
? 每個(gè)CCD 的象素為3648 個(gè)
? 像素分辨率為3 皮米，光學(xué)分辨率8 皮米
? 與光學(xué)系統(tǒng)一樣恒溫在+15?C ? 0.5?C
? 并聯(lián)讀出設(shè)計(jì)
? 每個(gè)CCD 具有自己的信號(hào)處理系統(tǒng)
? 智能數(shù)據(jù)獲取和數(shù)據(jù)消除系統(tǒng)
? 動(dòng)態(tài)范圍為109
? zui短積分時(shí)間小于1 毫秒
? 一次zui短測量時(shí)間為4 秒鐘（包括全譜檢測及賦值）
? 積分時(shí)間根據(jù)每個(gè)象素的信號(hào)強(qiáng)弱自動(dòng)*化
? 全波長覆蓋
? 自動(dòng)暗電流校正
? 自動(dòng)波長位置標(biāo)準(zhǔn)化
? TCP/IP 通訊接口
UV System 紫外密閉充氬循環(huán)系統(tǒng)
? 的UVPlus? 紫外密閉充氬循環(huán)系統(tǒng)
? 光室充滿氬氣并*密封不需消耗吹掃氣體
? 氬氣自動(dòng)凈化系統(tǒng)
RF-Generator RF 發(fā)生器
? 自激式
? 頻率為27.12MHz
? 輸出功率：0.7 ～1.7KW
? 功率穩(wěn)定性<0.1%
? 等離子體自動(dòng)點(diǎn)火
? 低功率、低氬氣氣流的待機(jī)模式
? 全部計(jì)算機(jī)控制
? 空氣冷卻（不需附加冷卻設(shè)備）
? 固態(tài)功率發(fā)生器
