參數(shù)

單位

OPP120SM

型號

V- OPPSM120

備注

-

傳感器

SG,ECS

主動軸

TZ

空載位移[Tz]

um

140

轉(zhuǎn)動[Rx, Ry]

urad

25

電壓范圍

V

-20…150

分辨率

nm

14

硬度

N/um

0.71

高度(Z 軸)

mm

50.0

尺寸

mm

65*40

質(zhì)量

g

180

空載共振頻率(在致動方向)負(fù)載=50g

Hz

600

負(fù)載響應(yīng)時間

ms

1.14

電容 (每個電氣接口)

uF

3.15

機(jī)械接口(有效負(fù)載)

物鏡接口 M25 *0.75()

機(jī)械接口(框架)

顯微鏡接口( M25 *0.75)

電氣接口

1RG 178B/U 同軸電纜