liteScope™

LiteScope™是一種的掃描探針顯微鏡（SPM）。 它設(shè)計用于輕松集成到各種掃描電子顯微鏡（SEM）中。 組合互補(bǔ)的SPM和SEM技術(shù)使其能夠利用兩者的優(yōu)勢。使用LiteScope™及其可更換探針系列，可以輕松進(jìn)行復(fù)雜的樣品分析，包括表面形貌，機(jī)械性能，電性能，化學(xué)成分，磁性能等的表征。LiteScope™的設(shè)計還使其可以與其他SEM配件結(jié)合使用聚焦離子束（FIB）或氣體注入系統(tǒng)（GIS）用于制造納米/微結(jié)構(gòu)和表面改性。在這種組合中，LiteScope™可對制造的結(jié)構(gòu)進(jìn)行快速簡便的3D檢測。此外，LiteScope™開辟了一個全新的測量技術(shù)領(lǐng)域，可實現(xiàn)相關(guān)顯微鏡，即所謂的相關(guān)探針和電子顯微鏡（CPEM）。 CPEM技術(shù)是市場上的技術(shù)。 它可以在同一個地方進(jìn)行SPM和SEM測量，同時，使用相同的協(xié)調(diào)系統(tǒng)。 只有CPEM技術(shù)才能為您帶來SPM和SEM技術(shù)相關(guān)成像的全部優(yōu)勢。

特點(diǎn)

? LiteScope™可提高性能的SEM升級

• 可作為現(xiàn)有顯微鏡的插件或作為新的SEM使用

• 的相關(guān)探針和電子顯微鏡（CPEM）技術(shù)

• 復(fù)雜的表面表征- 形貌，粗糙度，磁性，導(dǎo)電性，電性能

• 自感應(yīng)探頭，無需光學(xué)檢測，無需激光調(diào)整
  

• LiteScope™易于安裝到SEM的樣品臺上/從樣品臺中取出

• 兼容FIB，GIS，EDX等配件

• 在傾斜位置（角度0°-60°），最小工作距離5毫米

• 可伸縮的測量頭可釋放樣品周圍的空間

• 市售探針，種類繁多測量模式

• 快速簡便地更換探頭和樣本

• 用戶友好的軟件，在網(wǎng)絡(luò)瀏覽器中操作，輕松遠(yuǎn)程訪問

• LiteScope™也可作為獨(dú)立的SPM使用

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• 相關(guān)探針和電子顯微鏡 - CPEM

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LiteScope™是現(xiàn)有SEM儀器工作方式的強(qiáng)大增強(qiáng)功能。 但是，還有更多的內(nèi)容。相關(guān)顯微鏡結(jié)合了使用兩種不同技術(shù)對同一物體成像的好處。來自單獨(dú)圖像的數(shù)據(jù)的相關(guān)性提供了關(guān)于樣本的更詳細(xì)信息，否則這些信息將太復(fù)雜而無法分析。NenoVision開發(fā)了的技術(shù)-相關(guān)探針和電子顯微鏡（申請中）-用于相關(guān)成像。CPEM能夠通過SEM和SPM確定樣品區(qū)域的表面特征同時使用相同的協(xié)調(diào)系統(tǒng)。






CPEM技術(shù)能夠以迄今尚未獲得的方式對標(biāo)準(zhǔn)SEM和SPM方法進(jìn)行相關(guān)成像。CPEM同步掃描區(qū)域，分辨率和圖像失真，并實時關(guān)聯(lián)采集的SPM和SEM圖像。

使用已知恒定偏移和相同分辨率的同時掃描可確保在同一表面上執(zhí)行分析?？梢允褂梦覀兊?/span>NenoView軟件在線直接查看生成的圖像。