三維非接觸式表面形貌儀是目前用在科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域*的表面輪廓測量設(shè)備，采用目的白光干涉原理（性能優(yōu)于激光干涉輪廓儀與激光共聚焦顯微鏡）對樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維表面形貌、關(guān)鍵尺寸測量、磨損面積、磨損體積、粗糙度等參數(shù)的測量。

產(chǎn)品特點(diǎn)

2. 對于各種表面結(jié)構(gòu)，放大倍率及零件高度，可以實(shí)現(xiàn)小于 1 納米到 20000 微米范圍的測量，可測量各種材質(zhì)表面，包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺階面等。

3. NewView 9000 系列提供三種配置。帶 3 個(gè)目鏡切換器的NewView 9000 系統(tǒng)。

技術(shù)參數(shù)

垂直掃描范圍	150um 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，20mm 擴(kuò)展掃描
重復(fù)性	＜0.08nm
RMS 重復(fù)性	0.008nm
橫向分辨 空間采樣	0.34um(100X 物鏡) 0.04um(100x 物鏡，2 倍zoom)
掃描速度	171um/s
臺階測量 線性度	重復(fù)性 ≤ 0.1% 小于 20nm 或者 0.1%

測試軟件

典型的 MX 數(shù)據(jù)分析界面

產(chǎn)品應(yīng)用

1.測量次納米表面形貌

2.機(jī)械加工中的應(yīng)用

測試實(shí)例

1.表面粗糙度測量

2.更快的拼接大尺寸樣品平面度

3.區(qū)域分析

4.微觀表面結(jié)構(gòu)分析

5.劃痕分析

產(chǎn)品資料下載

產(chǎn)品介紹-Newview9000

美國ZYGO公司三維非接觸式表面輪廓儀-NexviewNX2

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MST+633nm介紹-4inch