電源：220V；

燈管：特殊格冊(cè)狀燈管（進(jìn)口石英材料），250W，壽命5000小時(shí)；

主要工作光譜：185nm+254nm

有效清洗面積：6、8、10、12、16英寸（可選擇其中一種）

清洗時(shí)間控制器：0-99.99小時(shí)或分鐘；

壽命計(jì)時(shí)器：計(jì)算燈管使用壽命；

照射高度： 20-100mm，可通過托盤四邊螺母調(diào)節(jié)高度;

UV ON/OFF指示，異常指示/警報(bào);

燈管預(yù)熱：具燈管預(yù)熱提示功能，15分鐘;

排風(fēng)功能：自帶抽風(fēng)系統(tǒng)，可調(diào)節(jié)風(fēng)速，8cm直徑出風(fēng)口，配置風(fēng)管及鋁膠帶

應(yīng)用領(lǐng)域

■在進(jìn)行薄膜沉積之前*行基片清洗。清除浮渣和穩(wěn)定化處理光刻膠。超高真空度密封。

■清洗硅芯片，透鏡，反光鏡，太陽(yáng)能面板，冷軋鋼，慣性引導(dǎo)零件和 GaAs芯片

■清潔焊劑，混合電路以及平板LCD顯示器

■蝕刻特氟隆，氟橡膠以及其它有機(jī)材料

■增強(qiáng)GaAs 和Si氧化物鈍化表面

■增強(qiáng)玻璃的除氣作用

■基片藍(lán)膜去除

■增強(qiáng)塑料表面的鍍膜的粘附性

■基片終測(cè)后墨跡清楚

■去除光刻膠

■平板顯示器/液晶顯示器

■去除光刻機(jī)臺(tái)上的光刻膠殘留物

■在電路板封裝和打片之前清洗）

■光纖

■增強(qiáng)表面親水特性

■為生物科學(xué)應(yīng)用做清洗和消毒

■光學(xué)透鏡

■其它應(yīng)用