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德國(guó)Diener Zepto W6 等離子表面處理機(jī)

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德國(guó)Diener Zepto W6 等離子表面處理機(jī)德國(guó)Diener electronic GmbH + Co. KG公司成立于1993年,專業(yè)從事等離子表面處理設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn), Diener等離子清洗機(jī)可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準(zhǔn)備等??蛇x擇40kHz/80kHz/100kHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器,以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。等離子產(chǎn)品線包含標(biāo)準(zhǔn)及特種設(shè)備

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德國(guó)Diener Zepto W6 等離子表面處理機(jī)

德國(guó)Diener Zepto W6 等離子表面處理機(jī)(圖1)

德國(guó)Diener electronic GmbH + Co. KG公司成立于1993年,專業(yè)從事等離子表面處理設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn), Diener等離子清洗機(jī)可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準(zhǔn)備等。可選擇40kHz/80kHz/100kHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器,以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。等離子產(chǎn)品線包含標(biāo)準(zhǔn)及特種設(shè)備,涵蓋所有等離子表面處理應(yīng)用領(lǐng)域,同時(shí)該公司接受非標(biāo)定制及樣品批量處理服務(wù)。

主要應(yīng)用領(lǐng)域:1、半導(dǎo)體元件、印刷線路板的清洗。2、高分子材料表面修飾3、生物芯片、微流控芯片的清洗4、芯片、電子元件、光學(xué)器件、激光器件、鍍膜基片等的清洗5、各種形狀的人工晶體、ATR元件、天然晶體和寶石的清洗。6、光學(xué)鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片的清洗。7、各種陶瓷、金屬基片上的殘留凝膠等雜質(zhì)的清洗。8、各種醫(yī)療器材和儀器的清洗。9、增加復(fù)合材料、生物分子材料表面的結(jié)合力。參數(shù):1. 手動(dòng)控制運(yùn)行模式2. 常用工作氣體空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等3. 功能:表面清潔、激活及改性4. *發(fā)生器、控制器及艙體一體設(shè)計(jì),根據(jù)工藝要求不同,可在主機(jī)上完成功率、氣體流量的設(shè)置5. 雙路工作氣體,浮球氣體流量計(jì)6. *高硼硅玻璃反應(yīng)艙,Dia.:160mm*L180mm,容積為4L7. *高周波射頻頻率13.56MHz 0~300W 功率連續(xù)可調(diào)8. 電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼,覆蓋玻璃艙體外周,保證產(chǎn)生均勻的等離子體,分布精度+/-2%9. 外形尺寸

10. 電源電壓:?jiǎn)蜗郃C230V 16AOPTION:1.石英腔體2.發(fā)生器40kHz,0~100W3.石英舟4.真空計(jì)5.計(jì)時(shí)器6.真空泵:油泵/干泵



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