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LCL-4A 橢圓偏振測(cè)厚儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 天津良益科技股份有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 天津市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/1/26 13:17:13
  • 訪問(wèn)次數(shù) 78

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儀器簡(jiǎn)介:手動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀使用消光法測(cè)量薄膜厚度和折射率;手動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試過(guò)程中的起偏和檢偏角度

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儀器簡(jiǎn)介:

    手動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀使用消光法測(cè)量薄膜厚度和折射率;手動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試過(guò)程中的起偏和檢偏角度。橢圓偏振法廣泛地應(yīng)用于固體基片上介質(zhì)薄膜的測(cè)量。在己有測(cè)定薄膜厚度的方法中,它是能測(cè)量到和精度的一類。



實(shí)驗(yàn)內(nèi)容:

1、了解并熟悉儀器的工作原理和性能

2、掌握如何利用設(shè)備測(cè)試樣品的方法



主要配置和參數(shù):

序號(hào)

名稱

規(guī)格和參數(shù)

1

測(cè)量范圍

1nm-300nm

2

測(cè)量最小值

≤1nm

3

入射角

30°-90°誤差≤0.1°

4

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°-180°

5

度盤(pán)刻度

每格2度

6

游標(biāo)最小讀數(shù)

0.05°

7

光學(xué)中心高度

152mm

8

工作臺(tái)直徑

Φ70mm

9

外形尺寸

730mm*230mm*290mm

10

主機(jī)重量

20kg







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