JSM-7100F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

觀察與分析納米結(jié)構(gòu)

納米結(jié)構(gòu)的觀察

JSM-7100F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡*的高強(qiáng)力電子光學(xué)系統(tǒng)能保證1.2nm 的超高分辨率，能很容易地進(jìn)行納米結(jié)構(gòu)的研究。

穩(wěn)定的高精度分析

浸沒式熱場發(fā)射電子槍提供穩(wěn)定的大探針電流，可以獲得高質(zhì)量的觀察和分析結(jié)果。發(fā)射體保證3年。

磁性材料

JSM-7100F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡的物鏡在樣品周圍不形成磁場，觀察和分析磁性樣品不受制約。

納米結(jié)構(gòu)的分析

日本電子技術(shù)“光闌角度*調(diào)節(jié)透鏡” （Aperture Angle Optimizing Lens）提供很小的電子探針直徑，在短時(shí)間內(nèi)用大探針電流可以獲得高精度的分析和高質(zhì)量的元素面分布圖。
各種分析附件包括 EDS、WDS和EBSD 都可以安裝在理想的幾何位置上。

清潔的真空

樣品的交換通過樣品交換氣鎖室進(jìn)行，樣品室總是保持著清潔的高真空狀態(tài)。*的單動(dòng)作樣品交換機(jī)構(gòu)，只要簡單的操作就能插入和退出樣品。
樣品室使用分子泵抽真空。

浸沒式熱場發(fā)射電子槍

日本電子技術(shù)-浸沒式熱場發(fā)射電子槍，效率高并且能提供高達(dá)200nA的探針電流。

光闌角度*調(diào)節(jié)透鏡

日本電子技術(shù)-光闌角度*調(diào)節(jié)透鏡，能自動(dòng)優(yōu)化物鏡光闌角度，在大探針電流時(shí)形成很小的探針直徑。

觀察

能獲取各種圖像：如二次電子像、背散射電子像和 STEM 像等。穩(wěn)定的熱場發(fā)射電子源能確保獲得高質(zhì)量的圖像。

分析

利用EDS 和 WDS的元素分析以及EBSD分析都能夠有效地進(jìn)行，穩(wěn)定的電子探針能夠獲得高精度的分析。