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蔡司鎢燈絲電子顯微鏡

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商品說(shuō)明

掃描電子顯微鏡
SEM3100

SEM3100具有出色的成像質(zhì)量和豐富的擴(kuò)展性,將鎢燈絲掃描電子顯微鏡的可用性、易用性發(fā)揮到。分辨率可達(dá)3 nm,超大樣品倉(cāng),可容納直徑為370 mm的樣品,以及諸多細(xì)節(jié)功能設(shè)計(jì)和特色功能,助您在顯微成像的世界中盡情探索。


商品參數(shù)

高性能高指標(biāo)

SEM3100是一款高性能的掃描電子顯微鏡,擁有超高的分辨率和出色的成像質(zhì)量。放大倍率連續(xù)可調(diào),在不同的視場(chǎng)范圍下均可得到高亮度的清晰圖像。大景深,成像富有立體感。配備的超大樣品倉(cāng)和低電壓模式,極大地?cái)U(kuò)展了SEM3100的應(yīng)用范圍。

分辨率

3 nm @ 30kV, SE

放大倍率

1~300,000 x (底片倍率)
1~1000,000 x (屏幕倍率)

圖像保存

像素,6144 x 4096

加速電壓

1 kV ~ 30 kV

樣品尺寸

直徑370 mm,高73 mm

出色的成像效果

錫球

乙酰檸檬酸三乙酯

鈷酸鋰

低電壓

毛發(fā),加速電壓3 kV

滌綸表面,加速電壓1 kV

纖維管表面缺陷,加速電壓1 kV

大視場(chǎng)、大景深、超大樣品倉(cāng)

超大樣品倉(cāng)

螺絲釘


豐富的擴(kuò)展性

掃描電子顯微鏡不只用于表面形貌的觀察,還可以進(jìn)行樣品表面的微區(qū)成分分析。SEM3100擁有超大的樣品倉(cāng),接口豐富,除支持常規(guī)的二次電子探測(cè)器(ETD)、背散射電子探測(cè)器(BSED)、能譜儀(EDS)外,也預(yù)留了諸多接口,諸如電子背散射衍射(EBSD)、波譜儀(WDS)、陰極熒光(CL)等探測(cè)器都可以在SEM3100上進(jìn)行集成。

背散射探測(cè)器

二次電子成像和背散射成像對(duì)比。背散射像下,樣品的荷電效應(yīng)明顯減弱,并且具有很好的成分襯度,適合進(jìn)行成分觀察。

能譜分析

水泥建筑材料SE和EDS分析結(jié)果,加速電壓15 kV
*微量Au元素為噴金后的鍍層

特色功能,更高的效率和更好的性能

光學(xué)導(dǎo)航

SEM3100標(biāo)配的倉(cāng)內(nèi)攝像頭可拍攝高清樣品臺(tái)照片,助您快速定位樣品。

旋鈕控制板和鼠標(biāo)手勢(shì)

可通過(guò)旋鈕控制板或鼠標(biāo)滾輪/手勢(shì)快速調(diào)節(jié)聚焦和像散等參數(shù),極大地提高成像效率。

動(dòng)態(tài)圖
結(jié)果圖

動(dòng)態(tài)像散

直觀反映像散程度,通過(guò)鼠標(biāo)點(diǎn)擊即可快速調(diào)節(jié)像散至。

動(dòng)態(tài)圖
結(jié)果圖

快速調(diào)節(jié)圖像旋轉(zhuǎn)

拖動(dòng)一條線,圖像立刻“擺正角度”。

細(xì)節(jié)設(shè)計(jì),追求的易用性

人性化的軟件設(shè)計(jì)

所有控制功能集成在一個(gè)軟件界面上,純中文的操作界面,功能設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單易懂。無(wú)論是否有經(jīng)驗(yàn)的用戶,簡(jiǎn)單的了解后都可以快速上手。

30分鐘自動(dòng)休眠

30分鐘無(wú)操作,SEM3100會(huì)自動(dòng)進(jìn)入休眠模式,停止掃描并將電子束關(guān)閉,減少燈絲損耗,延長(zhǎng)使用壽命。

換樣方便

拉開(kāi)式倉(cāng)門,給換樣操作留出寬闊的空間。也為倉(cāng)內(nèi)清潔維護(hù)提供了方便。

面板功能按鈕

機(jī)身正面設(shè)計(jì)的啟動(dòng)和放氣按鈕組合可快速換樣,拍樣完成后按下待機(jī)按鈕可一鍵待機(jī)!

優(yōu)中心樣品臺(tái)和真空電機(jī)

支持優(yōu)中心傾斜①樣品始終處于電子束下方,不同傾斜角度下,可獲取更豐富的形貌和成分信息。同時(shí)倉(cāng)內(nèi)真空電機(jī)②簡(jiǎn)化了傳動(dòng)結(jié)構(gòu),減少了真空漏氣可能性。

燈絲狀態(tài)自動(dòng)監(jiān)測(cè)

自動(dòng)檢測(cè)燈絲使用時(shí)間,以及燈絲工作狀態(tài)。讓您測(cè)樣和實(shí)驗(yàn)安排“心中有數(shù)”。

防碰撞技術(shù)

采取多維度的防碰撞方案:1. 手動(dòng)輸入樣品高度,精準(zhǔn)控制樣品與物鏡下端距離,防止發(fā)生碰撞;2. 基于圖像識(shí)別和動(dòng)態(tài)捕捉技術(shù),運(yùn)動(dòng)過(guò)程中對(duì)倉(cāng)內(nèi)的實(shí)時(shí)畫面進(jìn)行監(jiān)測(cè);3. 樣品臺(tái)硬件防碰撞,可在碰撞一瞬間停止電機(jī),減少碰撞損傷。

三級(jí)減震

創(chuàng)新性的三級(jí)減震設(shè)計(jì),可較好的過(guò)濾來(lái)自地面?zhèn)鱽?lái)的低頻震動(dòng)。同時(shí),通過(guò)良好的工程設(shè)計(jì),大幅減少了SEM3100自身運(yùn)行產(chǎn)生的震動(dòng)。

備注:
1、僅選配的五軸樣品臺(tái)支持; 2、標(biāo)配真空電機(jī)。

SEM3100應(yīng)用案例

電極箔截面

三元正極

鈷酸鋰

摻鋁四鈷

鈦金屬

硅碳負(fù)極材料

聚偏氟乙烯1

聚偏氟乙烯2

微流控芯片1

微流控芯片2

氧化鋁

多孔氮化硼陶瓷

泡沫鎳基底

表面氫氧化物附著

濾紙

碳材料

聚苯乙烯微球

纖維素管截面

微型探針表面

紡絲

參數(shù)

電子光學(xué)系統(tǒng)
分辨率
3 nm @ 30 kV
放大倍率
1~300,000 x (底片倍率)
1~1000,000 x (屏幕倍率)
加速電壓
1 kV~30 kV
電子槍類型
預(yù)對(duì)中型發(fā)叉式鎢燈絲電子槍
成像系統(tǒng)
探測(cè)器(標(biāo)配)
二次電子探測(cè)器 (ETD)
探測(cè)器(選配)
背散射電子探測(cè)器、能譜儀EDS等
圖像尺寸
≤ 6144 x 4096 像素
圖像保存格式
TIFF、JPG、BMP、PNG
樣品室
控制方式
全自動(dòng)閥
渦輪分子泵
240 L/S
機(jī)械泵
12 m3/h(50 Hz)
攝像頭
光學(xué)導(dǎo)航
樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控
樣品室真空度
高真空下優(yōu)于9 X 10-4 Pa
樣品臺(tái)配置
三軸自動(dòng)(標(biāo)配)
五軸自動(dòng)(選配)
行程
X: 100 mm
X: 115 mm
Y: 100 mm
Y: 115 mm
Z: 60 mm
Z: 65 mm
/
R: 360°
/
T: -10°~ +70°
樣品尺寸
直徑:370 mm, 高:68 mm
直徑:370 mm, 高:73 mm
軟件
語(yǔ)言
中文
操作系統(tǒng)
Windows
導(dǎo)航
光學(xué)導(dǎo)航,手勢(shì)快捷導(dǎo)航
自動(dòng)功能
自動(dòng)亮度對(duì)比度,自動(dòng)聚焦
特色功能
動(dòng)態(tài)像散
安裝要求
房間
長(zhǎng) ≥ 3000 mm,寬 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm
門寬
寬 ≥ 900 mm,高 ≥ 2000 mm
溫度
20 ~ 25 ℃
濕度
≤ 50%
噪聲
≤ 45dB
電氣參數(shù)
電源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA
地線
獨(dú)立地線一條,小于4 Ω
交流磁場(chǎng)
< 100 nT




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