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輪廓測量儀SJ5760-200

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X軸1、測量范圍:0~200mm

詳細(xì)信息 在線詢價

X軸
1、測量范圍:0~200mm;
2、示值誤差:±(1.2+2L/100)μm,其中L為水平測量長度,單位:mm;
3、分辨率:0.01μm;
4、直線度:2μm/200mm
5、測量速度:0.1~5mm/s;
6、移動速度:0~80mm/s;
Z軸
1、測量范圍:0~450mm;
2、移動速度:0~30mm/s;
3、Z0軸
1、測量范圍:±25mm;
2、示值誤差:±(2+|2H|/40)μm,其中H為垂直測量高度,單位:mm;
3、分辨率:0.01μm;
4、測量力:10~150mN;
5、爬坡能力:上坡77o,下坡83o;
6、儀器尺寸(長×寬×高):800×450×1000(mm);


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