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光學(xué):明場金相顯微鏡50x~500x(可選配100x物鏡)

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光學(xué):明場金相顯微鏡50x~500x(可選配100x物鏡)

光柵尺:0.5um進(jìn)口光柵尺(可選配0.1um/1um光柵尺)

計(jì)數(shù)器:內(nèi)置RS232可進(jìn)行數(shù)據(jù)輸出

平臺:

規(guī)格金屬臺面尺寸玻璃臺面尺寸形程最小分辨率(可選)mm
12*8500*350350*250300*2000.001/0.0005/0.0001
8*6400*280245*192200*1500.001/0.0005/0.0001
6*4300*250204*145150*1000.001/0.0005/0.0001
4*4285*240170*145100*1000.001/0.0005/0.0001
測量精度

所有星號的載物臺均達(dá)到(3+L/50)um的精度,更高要求可選購高精度型載物臺,測量精度達(dá)(1.5+L/100)um(L為被測長度,單位:mm)

*使用高精度載物臺時(shí),推薦使用10倍以上物鏡,溫度及環(huán)境必須達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)


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