AFM-IN工業(yè)型原子力顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 先實(shí)現(xiàn)樣品保持不動(dòng)，探針移動(dòng)掃描的原子力顯微鏡；
• 先采用閉環(huán)三軸獨(dú)立壓電平移式掃描器，大范圍高精確度掃描；
• 樣品尺寸、重量基本不受限制，特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測(cè)；
• 龍門架式掃描頭設(shè)計(jì)，大理石底座，真空吸附式載物臺(tái)；
• 大行程二維電動(dòng)樣品移動(dòng)臺(tái)，快速選擇感興趣的樣品區(qū)域；
• 高倍光學(xué)定位系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位；
• 簡(jiǎn)易的激光光斑調(diào)節(jié)方式，可通過(guò)光學(xué)CCD窗口實(shí)時(shí)觀測(cè)及調(diào)節(jié)光斑；
• 單軸驅(qū)動(dòng)掃描頭自動(dòng)垂直接近樣品，準(zhǔn)確定位掃描區(qū)域，針尖垂直于樣品掃描；
• 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針?lè)绞?，保護(hù)探針及樣品；
• 配備封閉式金屬屏蔽罩，氣動(dòng)式減震臺(tái)，抗干擾能力強(qiáng)，不影響儀器使用操作；
• 集成掃描器硬件非線性校正用戶編輯器，納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于98%。

應(yīng)用范圍