ZPT-F-Y科研氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)
應(yīng)用領(lǐng)域:
適合于高倍數(shù)電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領(lǐng)域應(yīng)用
產(chǎn)品特點(diǎn):
■中航世紀(jì)公司依托于航空工業(yè)人員背景研發(fā)制造的具有負(fù)載能力強(qiáng)、剛性強(qiáng)、穩(wěn)定性高、隔振效果好的科研級(jí)氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)。
■優(yōu)異的隔振性能:內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng),具備優(yōu)秀的固有頻率,對(duì)多個(gè)方向的振動(dòng)特別是垂直方向有著良好衰減效果,避免外界振動(dòng)干擾設(shè)備儀器精度,提高儀器設(shè)備使用精度和使用效率。
■自動(dòng)調(diào)節(jié)水平功能:放置負(fù)載的位置發(fā)生變化,平臺(tái)迅速通過(guò)高精度閥門(mén)自動(dòng)調(diào)整空氣彈簧內(nèi)部的氣壓,自動(dòng)保持水平。氣動(dòng)元器件全部執(zhí)行德國(guó)FESTO產(chǎn)品,標(biāo)配進(jìn)口無(wú)油壓縮機(jī)。
■臺(tái)板采用蜂窩芯夾板結(jié)構(gòu),具有重量輕、高剛度、高阻尼等優(yōu)點(diǎn),上面板為1cr17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼,經(jīng)精密研磨處理,平面度高,回旋打磨工藝清除毛邊,達(dá)到無(wú)反射、亞光效果,面板具有M6螺孔陣列,易于固定光學(xué)元件。
■隔振支撐為優(yōu)質(zhì)鋼管焊接而成,整體堅(jiān)固穩(wěn)定。
■工作壓力為0.35~0.6Mpa,標(biāo)準(zhǔn)配置調(diào)壓過(guò)濾閥將保證空氣彈簧的長(zhǎng)期有效工作,用戶只需要將氣管連接進(jìn)氣口,就能使裝置正常發(fā)揮隔振功能,氣源可通過(guò)小型空氣壓縮機(jī)或氮?dú)馄抗┙o,便于在安靜場(chǎng)合使用。
技術(shù)指標(biāo):
■平面度:< 0.05mm/m2
■表面粗糙度:< 0.8μm
■固有頻率;x方向:1.0Hz~1.5Hz y方向:1.0Hz~1.5Hz
■減振效率:x方向<5Hz時(shí):88%~94% y方向<5Hz時(shí):86%~92%
x方向<10Hz時(shí):92%~98% y方向<10Hz時(shí):90%~95%
■振幅:< 1μm
■荷載能力:800kg/m2
■重復(fù)定位精度:±0.05mm
產(chǎn)品型號(hào):(接受客戶任意規(guī)格定制生產(chǎn))
臺(tái)面細(xì)節(jié)圖
精密研磨處理
![](https://img67.86175.com/5eceadd4559dcfd27e2f527997f477ef0c1121952c3673bc3c483f85d0b18b92527fd95ff51aeb16.jpg)
表面平整精度
![](https://img67.86175.com/5eceadd4559dcfd27e2f527997f477ef0c1121952c3673bce447bf4aa28d93b03d534a6aef6186fd.jpg)
內(nèi)核采用粘結(jié)蜂窩芯及隔離杯結(jié)構(gòu)或焊接鋼制蜂窩結(jié)構(gòu)(用戶可選)
![](https://img68.86175.com/5eceadd4559dcfd27e2f527997f477ef0c1121952c3673bca8affc86e6ed42d07835a57a6bdc5bf6.jpg)
裝備地點(diǎn):香港理工大學(xué)生物醫(yī)學(xué)工程跨領(lǐng)域?qū)W部 產(chǎn)品規(guī)格:3000*1500*800mm
![](https://img62.86175.com/5eceadd4559dcfd27e2f527997f477ef0c1121952c3673bc22423d1a997cfea6f361b1ab1531aa2c.jpg)
裝備地點(diǎn):南方科技大學(xué) 產(chǎn)品規(guī)格:2500*1500*800mm
![](https://img70.86175.com/5eceadd4559dcfd27e2f527997f477ef0c1121952c3673bcaca32627e28489ba1f8c29adea6f156e.jpg)