DVIA-MB SEM＆TEM的最終活性基礎

 專為電子顯微鏡而設計

我們專門為掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡設計了DVIA-MB; DVIA-MB是最終的主動振動隔離基礎平臺，通過主動降低低頻范圍內(nèi)的振動，協(xié)助電子顯微鏡獲得生物和非生物樣品的高分辨率圖像。 此外，DVIA-MB適合所有市場上的商業(yè)電子顯微鏡。

的主動隔振器

DVIA-MB由四個主動隔振器組成，DVIA-M隔離器內(nèi)置空氣彈簧元件和主動隔離系統(tǒng)。 慣性傳感器和電磁執(zhí)行器安裝在這些主動隔振器中，有效地降低了低頻振動，同時被動隔離（空氣彈簧）支持大量有效負載，并為高頻振動提供隔振。

具有高分辨率的納米成像

 如上圖所示，當?shù)皖l振動干擾電子顯微鏡時，使用DVIA-MB降低這些振動至關重要，以便獲得納米級分辨率圖像。

的隔振性能

主動隔離系統(tǒng)的諧振頻率比無源隔離系統(tǒng)低得多。 如上圖所示，主動系統(tǒng)在1-10Hz范圍內(nèi)的振動控制非常出色，被動系統(tǒng)放大低頻振動而不是過濾振動。 DVIA-MB在精密儀器趨于不穩(wěn)定和破壞性的低頻振動中隔離超精密儀器非常有效。 主動振動隔離開始于0.5 Hz，DVIA-MB在2 Hz時達到90％，在10 Hz時達到99％。

反饋和前饋算法

DVIA-MB使用反饋控制系統(tǒng)連續(xù)檢測干擾隔離有效負載基座的振動，并即時作出反應，以實時最小化振動。 DVIA-MB采用前饋系統(tǒng)，以預定義的方式濾除地面振動。

控制所有六個自由度的振動

安裝在主動隔振系統(tǒng)中的慣性傳感器和VCM執(zhí)行器通過三個平移運動（X，Y和Z）以及三個旋轉(zhuǎn)運動（俯仰，滾轉(zhuǎn)和偏航）來檢測和控制振動。

每個安裝地點都有不同的振動級別，表明每個安裝地點都需要調(diào)整。 因此，我們提供現(xiàn)場調(diào)試，以有效地利用反饋和前饋控制系統(tǒng)，這是控制1-10 Hz范圍振動的關鍵因素。 沒有調(diào)整，主動隔離系統(tǒng)不能提供的主動隔離性能。

應用：掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡

產(chǎn)品規(guī)格