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實(shí)驗(yàn)室半導(dǎo)體檢測(cè) TBM-900

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一、儀器用途 TBM-900半導(dǎo)體檢測(cè)儀是檢測(cè)雙極型晶體管的基區(qū)寬度,半導(dǎo)體晶片的直徑、平整度、光潔度、表面污染、傷痕等,刻蝕圖形的線條長、寬、直徑間距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑的儀器

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一、儀器用途

 TBM-900 半導(dǎo)體檢測(cè)儀是檢測(cè)雙極型晶體管的基區(qū)寬度,半導(dǎo)體晶片的直徑、平整度、光潔度、表面污染、傷痕等,刻蝕圖形的線條長、寬、直徑間距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑的儀器。配備大視野目鏡與偏光觀察裝置,透反射照明采用“柯勒”照明系統(tǒng),視場(chǎng)清晰。可用于半導(dǎo)體硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣的檢驗(yàn),是生物學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子工程學(xué)等研究的理想儀器,廣泛應(yīng)用在工廠、實(shí)驗(yàn)室和教學(xué)及科研等領(lǐng)域。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)
  采用優(yōu)良的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)與模塊化功能設(shè)計(jì)理念,可以方便升級(jí)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)偏光觀察、暗場(chǎng)觀察等功能,緊湊穩(wěn)定的高剛性主體,充分體現(xiàn)了顯微操作的防振要求。符合人機(jī)工程學(xué)要求的理想設(shè)計(jì),使操作更方便舒適,空間更廣闊。適用于金相組織及表面形態(tài)的顯微觀察,是金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)研究的理想儀器。不僅可以在目鏡上作顯微觀察,還能在計(jì)算機(jī)顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像,并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。

三、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
類型 放大倍數(shù) 視場(chǎng)(mm)
大視野目鏡 10X φ18
2.物鏡
類別 放大倍數(shù) 孔徑數(shù)值 工作距離(mm)
無限遠(yuǎn)長距明場(chǎng)消色差物鏡 5X 0.12 9.7
10X 0.25 9.3
20X 0.40 7.2
50X 0.70 2.5
80x 0.80 1.25
3.光學(xué)放大倍數(shù):50X 100X 200X 500X 800X
4.三目鏡,傾斜30˚,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)內(nèi)置視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、(黃、藍(lán)、綠、
 磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置,推拉式檢偏器與起偏器
5.五孔轉(zhuǎn)換器 (外向式滾珠內(nèi)定位)
6.機(jī)械式載物臺(tái):外形尺寸:280mmX270mm,移動(dòng)范圍:橫向(X)204mm,縱向(Y)204mm
7.粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
8.照明系統(tǒng):12V 50W鹵素?zé)?亮度可調(diào);
9.防霉系統(tǒng)

四、系統(tǒng)組成
(TBM-900):1.顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.A/D(圖像采集)

五、總放大參考倍數(shù)
TBM-900型: 50—3500倍

六、選購件
1.目鏡: 10X分劃  2.物鏡:40X 60X 100X  3.二維測(cè)量軟件


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