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超高分辨肖特基場發(fā)射掃描電鏡 SU7000

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核心理念采用優(yōu)異的成像技術(shù)SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結(jié)構(gòu)等多種檢測信號。全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng),使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號,用戶可以在短時間內(nèi)獲得更全面的樣品信息。采用多通道成像技術(shù)隨著用戶對成像需求的不斷增長,SU7000特新增了幾種探測器,還引進了相應(yīng)的成像功能。SU7000最多可同時顯示和保存6通道信號。實現(xiàn)了獲得樣品信息的。支持不同形狀樣品、多種觀察方法?大型樣品觀察?低真空觀察

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概述
產(chǎn)品參數(shù)

核心理念

  1. 采用優(yōu)異的成像技術(shù)
    SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結(jié)構(gòu)等多種檢測信號。全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng),使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號,用戶可以在短時間內(nèi)獲得更全面的樣品信息。

  2. 采用多通道成像技術(shù)
    隨著用戶對成像需求的不斷增長,SU7000特新增了幾種探測器,還引進了相應(yīng)的成像功能。SU7000最多可同時顯示和保存6通道信號。實現(xiàn)了獲得樣品信息的。

  3. 支持不同形狀樣品、多種觀察方法
    ?大型樣品觀察
    ?低真空觀察
    ?超低溫觀察
    ?實時觀察
    等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備,觀察方法也是。

  4. 支持微納解析
    采用肖特基發(fā)射電子槍,束流可達到200 nA,適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等,接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特殊需求。

成像能力

追求信息的檢測系統(tǒng)

隨著用戶對樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化,對檢測系統(tǒng)在短時間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下,更高效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實現(xiàn)了更快速、更全面的信息收集。

產(chǎn)品參數(shù)
項目內(nèi)容
圖像分辨率二次電子分辨率0.8 nm/15 kV
0.9 nm/1 kV
放大倍率20~2,000,000 x
電子槍發(fā)射體ZrO/W熱場發(fā)射(肖特基熱場發(fā)射)
加速電壓0.1~30 kV (步進:0.01 kV)
束流200 nA
探測器標準探測器UD (上探測器)
MD (中探測器)
LD (下探測器)
選配探測器*1PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器)
UVD(高靈敏度低真空探測器 )
低真空模式*1樣品倉壓力范圍5~300 Pa
可使用探測器PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達臺馬達臺控制5軸馬達驅(qū)動
移動范圍X0~135 mm
Y0~100 mm
Z(WD)1.5~40 mm
T(傾斜角)-5~70°
R(旋轉(zhuǎn)角)360°
樣品尺寸直徑:φ200 mm, 高度:80 mm
顯示器*123英寸LCD (1,920×1,080), 支持雙屏
圖像顯示模式全屏顯示模式1,280×960像素顯示
單屏顯示模式800×600像素顯示
雙屏顯示模式800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
四屏顯示模式640×480像素顯示
六屏顯示模式*2640×480像素顯示 *2
圖像數(shù)據(jù)保存保存圖像尺寸640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
選配附件能譜儀(EDX)
X射線波譜儀(WDX)
電子背散射衍射(EBSD)
陰極熒光探測器(CL)
冷凍傳輸系統(tǒng)
各種功能樣品臺
  • *1

  • 為選配項。

  • *2

  • 支持雙屏顯示。


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