◆Mini LED分選設(shè)備系統(tǒng)(豎立式)
特點(diǎn)︰
·Mini LED晶粒分選單粒轉(zhuǎn)移系統(tǒng);
·高精度運(yùn)動(dòng)控制;
·Wafer上下料,自動(dòng)對(duì)位;
·多功能夾具,支持多種尺寸wafer ;
·多儀器搭載,支持轉(zhuǎn)移后晶粒壞點(diǎn)修復(fù)。
項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
尺寸 | 長(zhǎng)*寬*高: 1.3m~1.8m |
測(cè)試樣品大小 | ≥4mil *4mil |
光學(xué)系統(tǒng) | 解析度1282 *1026pixel (單色) 精度±1/4 pixel |
反應(yīng)時(shí)間 | 120ms |
運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) | 采用高精度伺服電機(jī),高精度滾珠螺桿,微米級(jí) |
良率、精度 | 1.掃描判別率?99.98% (扣除外觀不良) 2.挑撿良率?99.98% (扣除排列不整) 3.重復(fù)性排列精度土5um |
Bin | Bin端排檢數(shù)量可自行設(shè)定,分選相同bin張數(shù)可任意設(shè)定,單張被分選數(shù)可 設(shè)定; Bin容量可定制 |
校正系統(tǒng) | 校正后,Bin端99. 9%分選固晶精度以十字標(biāo)為基準(zhǔn)st10um |
軟件 | 特儀自主開發(fā)之軟件,全中文版,C#編程模塊化, 操作簡(jiǎn)單,U界面可依據(jù)客 戶需求進(jìn)行定制,軟件自帶各標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試手法,可以通過(guò)直接調(diào)用模式進(jìn)行測(cè)試 |