F60 薄膜厚度測量儀

生產(chǎn)環(huán)境的自動測繪

Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。 這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準(zhǔn)確定、全封閉測量平臺、預(yù)裝軟件的工業(yè)計算機，以及升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C型。

不同的 F60-t 儀器根據(jù)波長范圍加以區(qū)分。 較短的波長 (例如， F60-t-UV) 一般用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

選擇Filmetrics的優(yōu)勢

•   桌面式薄膜厚度測量的

•   24小時電話，和在線支持

•   所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件

附加特性

•  嵌入式在線診斷方式

•   免費離線分析軟件

•  精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能，幫助用戶有效存儲，重現(xiàn)與繪制測試結(jié)果