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HGK系列 真空管式氣氛爐(1600℃ ) 1600℃真空管式氣氛爐

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 上海環(huán)試電子科技有限公司
  • 品牌
  • 型號 HGK系列真空管式氣氛爐(1600℃
  • 所在地 上海
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/10/18 17:48:35
  • 訪問次數(shù) 38

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HGK1600℃真空管式氣氛爐的詳細(xì)資料: 這款CVD系統(tǒng)集真空管式爐,多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)(有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)),可預(yù)抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器)

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

HGK1600℃真空管式氣氛爐的詳細(xì)資料:
這款CVD系統(tǒng)集真空管式爐,多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)(有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)),可預(yù)抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器)。性能可靠??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù),具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點(diǎn)。CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
高真空管式爐
爐管尺寸
外徑Φ60×1000mm,Φ80×1000mm,Φ100×1000mm
極限溫度
1600 ℃
工作溫度
800 -1500 ℃
溫度控制器
PID自動(dòng)控制 晶閘管(可控硅)輸出功率, 50段可編程控制器
升降溫速率
1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min
加熱區(qū)
360mm
恒溫區(qū)
150mm
溫度精度
±1 ℃
電源
單相220V,交流50Hz
多通道流量計(jì)控制系統(tǒng)
標(biāo)準(zhǔn)量程
100,200 ,500,1000SCCM; (以氮?dú)鈽?biāo)定,除以上標(biāo)準(zhǔn)外量程可選)
準(zhǔn)確度
±1.5%
工作壓差范圍
0.01~0.05 MPa
壓力
0.02MPa
接頭類型
Φ6雙卡套不銹鋼接頭
高真空系統(tǒng)
泵體積流量N2
33 L/S
壓縮比
10:11
實(shí)驗(yàn)真空值
6.7*10-3Pa(8.0*10-4Pa)
功率消耗
140W
啟動(dòng)時(shí)間
2min
電源要求:
185-265VAC

注:A代表可程式,本公司可定制各種CVD系統(tǒng)。


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