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CM-ZKY真空開(kāi)關(guān)真空度測(cè)試儀

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基于電離電荷的采樣技術(shù) CM系列真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司專(zhuān)家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。

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產(chǎn)品詳情
一、產(chǎn)品技術(shù)主要特點(diǎn)
    
★基于電離電荷的采樣技術(shù)
       CM系列真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司專(zhuān)家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此,我公司了基于電離電荷的采樣技術(shù),顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。
★ 漏電電流的處理
       對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí),會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性,并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無(wú)論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。
★ 判別漏氣的真空滅弧室
 在此型機(jī)中,通過(guò)高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否漏氣。
★ PC機(jī)控制測(cè)量、計(jì)算漏率、形成測(cè)量數(shù)據(jù)庫(kù)
       這部分是選配件。通過(guò)界面進(jìn)行管型、電流或真空度、所用數(shù)據(jù)庫(kù)的整定,由PC機(jī)控制整個(gè)測(cè)量過(guò)程、顯示測(cè)量結(jié)果并將數(shù)據(jù)存入整定時(shí)的數(shù)據(jù)庫(kù)。同一只真空滅弧室在兩次測(cè)量后,可通過(guò)界面控制進(jìn)行漏率計(jì)算。
★ 內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線(xiàn)
       真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同,當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí),其放電電荷量是不同的,并且有相當(dāng)?shù)牟町?。為?zhǔn)確測(cè)量,對(duì)每一種真空滅弧室必須有對(duì)應(yīng)的從電離電荷量到真空度推算曲線(xiàn)。我公司的專(zhuān)家通過(guò)與國(guó)內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作,取得了幾乎國(guó)內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù),通過(guò)數(shù)學(xué)處理,將其特征參數(shù)送入CM系列產(chǎn)品。因此,CM系列產(chǎn)品內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線(xiàn)。這是國(guó)內(nèi)外同類(lèi)產(chǎn)品中的。
★完善的輸入保護(hù)電路
       當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時(shí),測(cè)量時(shí)真空滅弧室會(huì)被高壓擊穿,瞬間的高壓直接加至信號(hào)輸入端的采樣電路上,使其承受十分強(qiáng)的電沖擊。信號(hào)輸入端的采樣電路增加了完備的保護(hù)電路,即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發(fā)生暫時(shí)工作不正常時(shí)(重新開(kāi)機(jī)即可),也不會(huì)造成電路部分的損壞。
 
技術(shù)參數(shù)
●測(cè)量范圍:1×10-5 ~1×10-1Pa 
●測(cè)量誤差:1×10-4~1×10-1 Pa中誤差<10%
●測(cè)量分辨率:10-5Pa
●漏氣的滅弧室在測(cè)量中將發(fā)生電擊穿。
●允許環(huán)溫:0℃~55℃ 
●空氣濕度:〈85%RH
●電源:AC220±l0%
●外型尺寸:455x330x250mm


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