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加熱平板與晶圓夾盤系列

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Instec加熱平板允許同時進行樣品的溫控和反射光觀察。相比冷熱臺減少了下透光孔,視型號不同有或沒有上蓋。

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Instec加熱平板允許同時進行樣品的溫控和反射光觀察。相比冷熱臺減少了下透光孔,視型號不同有或沒有上蓋。

本品適用于反射式顯微鏡、顯示面板測試、半導體檢測、原子力顯微鏡等應用。

Instec溫控晶圓夾盤于樣品電測試。相比加熱平板則多了用于固定樣品的真空吸附槽。

本品適用于樣品電測試,整體高度很小,可集成進探針臺使用。

 

冷熱平板TP104SC,樣品區(qū)100x100mm半導體控溫,增加氣密上蓋

一個典型的圓形溫控晶圓夾盤

 


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