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三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機械泵，它是由管式爐，三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成，其真空度可達到10-2t...

雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)&循環(huán)手套是一款雙爐體滑動的PECVD系統(tǒng)，并目連接有循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與一循環(huán)手套箱相連接，允許客戶用CVD方法把樣品制作...

小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)是一款小型的PECVD（Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition）（等離子體化學(xué)氣相沉積）滑...

三溫區(qū)1500°C PECVD系統(tǒng)是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng)，它是由500W的射頻電源，1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和...

4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積法（PECVD），內(nèi)...

OTF-1200X-50-I-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PE-CVD管式爐系統(tǒng)，組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐，預(yù)熱爐（作用...