13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺(tái)式 高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng) 多種用途。
特征
●  可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
●  搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
●  可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。

用途
●  硅晶圓的灰化及蝕刻
●  基板表面污垢處理
●  IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●  半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
●  自然氧化膜·有機(jī)物去除
●  界面活性處理
●  表面污染物去除

內(nèi)槽


規(guī)格