MF PLASMA系列
產(chǎn)品概況
廠家：天科創(chuàng)達(dá)
產(chǎn)地：中國(guó)
專為工廠生產(chǎn)設(shè)計(jì)，適用材料清潔與活化
可用于處理各種高分子材料，金屬，玻璃等表面
腔體內(nèi)氣浴設(shè)計(jì)，工藝氣體分布更加均勻
規(guī)格參數(shù)
| 設(shè)備型號(hào) | PT-20-MF | PT-35-MF | PT-60-MF |
| 真空腔體 | W260mm;D300mm;H260 mm | W290mm;D350mm;H280 mm | W400mm;D400mm;H400mm |
| 射頻電源 | 1000W;40KHz 300W；13.56MHz | 1000W;40KHz 300W；13.56MHz | 1000W;40KHz 500W；13.56MHz |
| 真空計(jì) | 1×10-2～1×105 | 1×10-2～1×105 | 1×10-2～1×105 |
| 流量計(jì) | 2通道MFC （0-200sccm） | 2通道MFC （0-200sccm） | 2通道MFC （0-200sccm） |
| 工藝氣體 | 氧氣，氬氣，氫氣，氮?dú)獾?/p> |
| 控制方式 | 手動(dòng)/自動(dòng) | 手動(dòng)/自動(dòng) | 手動(dòng)/自動(dòng) |
| 人機(jī)界面 | 10寸觸摸屏 | 10寸觸摸屏 | 10寸觸摸屏 |
| 主機(jī)尺寸 | 800（W）×800（D）×1800（H） | 800（W）×800（D）×1800（H） | 800（W）×800（D）×1800（H） |
| 真空泵 | 可選干泵或油泵 |
| 安裝條件 | AC220V；50/60Hz；2Phase 3Wire 或者 AC380V；50/60Hz；3Phase 5Wire |
| 其他說(shuō)明 | 有單獨(dú)通風(fēng)泄壓通道，設(shè)備相關(guān)配置可按要求定制 |
設(shè)備特點(diǎn)
- 使用成本低、耗損小
- 自主研發(fā)的操作系統(tǒng)，簡(jiǎn)潔智能
- 較低的處理溫度，不存在熱損傷和熱氧化問(wèn)題
- 可處理多種材質(zhì)產(chǎn)品，工藝穩(wěn)定
- 安裝與維護(hù)簡(jiǎn)便快捷
