爐體結(jié)構(gòu)（點擊圖片查看詳細資料）

• 兩個爐體在一個滑軌上面，和通過對爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果
• 連續(xù)工作溫度:1100℃
• 兩個爐體都可以設(shè)置30段升降溫程序

等離子體射頻電源

• 輸出頻率: 13.56 MHz ±0.005% 
• zui大射頻功率: 500W 
• 匹配: 自動匹配
• 噪音: <50 dB. 
• 冷卻: 空氣冷卻. 
• 輸入電源: 208-240VAC, 單相, 50/60Hz

真空系統(tǒng)

• 采用VRD-16的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr 
• KFD25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連.
• 管內(nèi)真空可達10E-2 Torr 

質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng)

• 四個精密的質(zhì)量流量計(精度1.5% ) ：數(shù)字顯示，自動控制.
• MFC1范圍:  0~100 sccm 
• MFC2和3:   0~200 sccm  
• MFC4范圍:  0~500 sccm 
• 一個混氣罐，底部裝有泄廢液口. 
• 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制4種氣體.
• 進氣口: 4個1/4NPS. 
• 出氣口: 4個 1/4NPS. 
• 采用PLC控制流量計，通過觸摸屏進行控制
• 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統(tǒng)
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爐管&密封法蘭

• 高純石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L
• 配有一套不銹鋼密封法蘭，并且上面安裝有真空計
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防腐型真空計

• 輸入電源   24V，1A  DC（配有一電壓轉(zhuǎn)換器）
• 測量范圍   3.8x10-5 -1125 Torr.
• 數(shù)據(jù)顯示   數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
• 接頭 KF16 接頭
• 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

循環(huán)手套箱

• 手套箱尺寸：780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)
• 帶有除水系統(tǒng)：保持水含量< 2 ppm
• 一真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管相連接
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質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈）

質(zhì)量認證

• CE認證
• 所有電器元件（輸入電源＜24V）都通過連UL/MET/CSA認證 
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