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OTF-1200X-50-4CLV-P 4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

參考價(jià)	面議

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng) 合肥科晶材料技術(shù)有限公司
品牌
型號(hào) OTF-1200X-50-4CLV-P
所在地 合肥市
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2017/1/5 10:24:14
訪問(wèn)次數(shù) 422

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促銷(xiāo)詳情

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特價(jià)說(shuō)明：

促銷(xiāo)詳細(xì)：

2020年01月08日至 2020年02月08日

特價(jià)促銷(xiāo)

模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴(lài)度；傳統(tǒng)的塑膠模具開(kāi)模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開(kāi)模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴(lài)。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

我也要發(fā)布產(chǎn)品信息

為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱(chēng)為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD），內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

詳細(xì)信息在線詢(xún)價(jià)

技術(shù)參數(shù)

實(shí)驗(yàn)機(jī)理

輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3
電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍

產(chǎn)品特點(diǎn)

雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。
科晶公司提供定制的薄膜材料的實(shí)驗(yàn)室質(zhì)量可靠、價(jià)格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。
下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計(jì)和高真空系統(tǒng)氣體組成


OTF-1200X開(kāi)啟式管式爐，工作溫度高達(dá)1200℃	化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的組成圖

開(kāi)啟式管式爐

工作溫度：1200℃
爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用
溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器
加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度：150mm 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷(xiāo)售人員
功率：AC 220V 4KW

等離子射頻電源

輸出功率：50-500Wzui大可調(diào)±1%
RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005%
噪聲：≤55DB
冷卻：風(fēng)冷
輸入功率：1KW AC 220V

真空泵和閥門(mén)

采用KF25系列波紋管和精密針閥連接
真空度可達(dá)10-3torr
本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10^-5至 1125Torr.不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）

質(zhì)量流量計(jì)

內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量
氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%
一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥
不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入
進(jìn)氣口：采用標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭

細(xì)節(jié)圖展示

外形尺寸

爐體：550*380*520mm
供氣及真空系統(tǒng)：600*600*597mm
凈重：120KG

開(kāi)門(mén)斷電

為保證使用安全，該電爐為開(kāi)門(mén)斷電設(shè)計(jì)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證
所有電器元件（>24V）都通過(guò)UL / MET / CSA認(rèn)證
若客戶(hù)出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

國(guó)家

名稱(chēng)：可組合式等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置

編-2011-2-0355777.1

尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究

使用注意事項(xiàng)：

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）