爐體結(jié)構(gòu) | - 雙層莫來石鋼構(gòu)（不帶水冷或風(fēng)冷）
- 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
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加熱元件 | 8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm）（點(diǎn)擊圖片查看詳情）
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加熱區(qū) | 12" length with 4"X12”恒溫區(qū)（ +/-5ºC ） |
石英管和樣品架 | - 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
- 3" 的樣品架固定在滑動(dòng)法蘭上，石英材料
- 一片3" AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。
- AlN 具有很高的熱導(dǎo)率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+\- 5°C
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真空法蘭 | - 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個(gè)高溫“O”型圈密封
- 滑動(dòng)法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。
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水冷 | 如果要求通冷卻水. 請(qǐng)確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20ºC; 水壓 > 25 PSI 我們建議采用 循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)（為了節(jié)約用水）. 警告: 這款 RTP 爐在1000ºC ~ 1100ºC下保溫時(shí)間不超過 600 秒，否則“ O”圈將被燒融
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流量計(jì) | 范圍： 16 - 160 ml/min |
真空表 | - 標(biāo)配：數(shù)字真空表，測量范圍：10mtorr~800 torr 。注意：此表是在氮?dú)庀滦?zhǔn)的，只有在氮?dú)夂涂諝庀卤砩巷@示的是實(shí)際壓力，當(dāng)通入任何其他氣體時(shí)，必須參考說明書中的相對(duì)氣體對(duì)照表，否則后果會(huì)很嚴(yán)重。
- 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片了解詳細(xì)參數(shù)）
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真空度 | |
溫度控制 | PID 自動(dòng)控制， 可控硅 SCR |
熱偶 | 進(jìn)口K 型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下。 |
溫控儀 | - PID 自動(dòng)控制，30段程序帶過熱和斷偶保護(hù)功能
- 熱偶: 進(jìn)口K type
- 自整定功能
- 控溫精度: +/- 1°C
- RS485 串口和溫控軟件（模塊和數(shù)據(jù)線需要另購）
- 溫控操作視頻：點(diǎn)擊查看
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zui快升溫速度 | 室溫~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃： 10oC/sec |
| 升溫曲線 | 直接升溫到1000℃；分階段升溫?cái)?shù)據(jù) 請(qǐng)點(diǎn)擊查看 |
zui快降溫速度 | 60ºC/min (在 200 mtorr下), 117ºC/min (在一個(gè)大氣壓下) 選擇: 為得到較快的降溫速度 < 10°C/秒, 你可以選擇帶滑軌的 RTP 爐，如下圖: |
溫度 | zui高1100ºC ，額定1000°C |
電源 | 208-240 AC, 50/60 Hz 單相, zui大功率9KW (> 60A 保險(xiǎn)) |
| 注意 | 此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā)）爐（可查看下方的圖片自己制備RTE）
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尺寸 | 760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H) |
重量 | 45 kg (100 lbs) |
保修期 | 電器部分一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O”型圈和加熱燈管等不在保修范圍內(nèi)） |
認(rèn)證 | - CE認(rèn)
- 所有電器元件（＞24V）都通過了UL/MET/CSA認(rèn)證
- 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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| 國家 | 名稱：一種快速高溫退火爐 編-2011-2-0077168.4 尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究 |
| 使用注意事項(xiàng)： | - 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
- 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
- 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
- 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
- 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃
- 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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