半導(dǎo)體芯片退火設(shè)備 RTP快速退火爐產(chǎn)品特點(diǎn)

● 快速加熱和降溫: 高可控升溫速率可達(dá)50 ℃/s，特定條件下可以達(dá)到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計(jì)能夠達(dá)到較大的降溫速率，特定條件下可達(dá)30 ℃/s。

● 精確控溫: 采用工業(yè)溫控器進(jìn)行PID精確控溫，目標(biāo)溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高，可實(shí)現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。

● 適應(yīng)多種工藝環(huán)境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮?dú)狻鍤獾龋?。同時(shí)，通過選配真空泵，可以在真空條件下進(jìn)行退火，高真空度可達(dá)10-3Pa。

● 配備觀察窗口: 通過觀察窗口，可以實(shí)時(shí)觀察熱處理過程中的樣品變化。同時(shí)，可以結(jié)合相關(guān)測試方法進(jìn)行原位測試分析。

● 超高安全系數(shù): 采用爐壁超溫報(bào)警系統(tǒng)和冷卻水流量報(bào)警系統(tǒng)，多方位保障儀器使用安全。

● 國產(chǎn)退火爐：擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力，能快速反應(yīng)客戶售后需求。